Low-K材料及銅質(zhì)材料,難以用普通的金剛石刀輪進行切割加工,原因是金剛石刀輪直接作用會導(dǎo)致Low-K材料的飛濺和外觀不良。解決此問題需先去除晶圓表面的Low-K以及銅質(zhì)金屬層,之后再用刀輪切割襯底材料。
2024-05-17
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